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  異物検査装置

液晶装置用固定(走行)タイプ微小異物検査装置

高感度で高速な異物検査を実現

特殊な光学系を用いて異物の散乱光を積極的に撮り込む方式を採用しております。
走行タイプ微小異物検査装置は:330mm/secに於いて30μm、440mm/secに
於いて50μmという高速、高感度な異物検出を可能としております。
固定タイプ微小異物検査装置は:G8サイズに於いて50μmの検出をタクト
タイム26秒を可能としております。
特徴
@走行タイプ:ガラス基板上に於いて300mm/sec、30μmの検出感度を持っております。
  また、440mm/secに於いて50μmの検出感度を持っております。
  固定タイプ:ガラス基板上に於いて50μmの検出感度を持っております。
ACFガラス基板の種類は問いません。
Bガラス基板表面又は裏面の異物検査も可能です。
C各種レシピを用意してあり、条件設定機能により操作も簡単に行えます。
Dデータ整理機能を内蔵し、必要に応じた形式で出力が可能です。


用途
  露光前の異物検査
  コンベア上ガラス基板の表面及び裏面の異物検査
  ステージ上ガラス基板の表面異物検査

液晶装置用裏面微小異物検査装置

裏面微小異物検査装置仕様

1.測定原理      : 散乱光方式
2.検出対象      : ステージ上CF基板表面異物
                コンベア上CF基板表面異物
                コンベア上CF基板裏面異物
3.検出器       : ラインセンサー
               エリアセンサー
4.光源        : 660nm  レーザ
               520nm  レーザ
               630nm  LED
               545nm  LED
5.検出異物サイズ : ラインセンサー  30μm以上
               ラインセンサー  50μm以上
6.測定基板サイズ : G3.5〜G10.5
7.検査時間    :  走行タイプ異物検査G8サイズに於いて14秒
               固定タイプ異物検査G8サイズに於いて26秒
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