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  PLM測定装置(特許取得済)

透過型位相シフトレーザー顕微鏡干渉計側装置(特許取得済)

独自の波面分割型干渉系を採用した小型・軽量で耐振動性に優れた、卓上型の干渉計側装置です。
ビーム分割にバイプリズムを使用して、これを微動する新しいタイプの位相シフト法を併用することにより 従来の位相差顕微鏡、微分干渉顕微鏡では観察できなかったサブミクロン領域での微弱で穏やかな位 相変化を、高精度に定量計測することが可能です。

用途

光デバイスの研究開発・製造分野における光スイッチ素子、光導波路、光ファイバー等の屈折率分布 の観察・定量計測による構造評価。
バイオテクノロジー分野における非染色生体関連試料の微細構造観察・定量計測。

独自の波面分割干渉系

コリメートされたレーザー光で、光路の片側に置かれた試料を照射する。
試料を透過したレーザー光は、対物レンズによって中間拡大面上に結像され、さらに拡大して観察面上 のCCDカメラの撮像面に拡大像を結ぶ。
拡大レンズと観察面の間のバイプリズムは、試料を透過した物体光と、試料の無い側を通過した参照光 とを光軸側に引き寄せ、観察面上で干渉画像を形成する。
バイプリズムはピエゾステージ上にマウントされ、シフト量に応じて微動します。

位相シフト法

物体波と参照波の相対的な位相差を、1/n(※)波長ずつ変化させながらn枚の干渉縞画像として取込んで (干渉縞画像)、試料を透過したビームの位相変化を計算します。
※n=3以上の整数

校正

ホログラム入力前に、バ
イプリズム微動機構の移
動量の干渉縞の移動量
の関係を計測して正常性
を確認します。

干渉縞画像入力

1/n波長ずつ変化させ
たn枚の画像を取込む。

プロファイル

計算された位相データよ
り、指定された位置の位
相プロファイルをグラフ表
示します。

光導波路断面生画像


干渉縞画像


強度分布画像


主値位相分布画像


位相分布画像


強度分布(×15)画像


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