異物検査装置 (GPIS) 特許取得済

製品紹介 PRODUCT

異物検査装置(GPIS)微小異物検査装置

高感度で高速な異物検査を実現　波長切替方式　特許取得済

特殊な光学系を用いて異物の散乱光を積極的に撮り込む方式を採用しております。

走行タイプ微小異物検査装置は：330mm/secに於いて30μm、440mm/secに於いて50μmという高速、高感度な異物検出を可能としております。

固定タイプ微小異物検査装置は：Ｇ８サイズに於いて50μｍの検出をタクトタイム10秒以下を可能としております。

又既存生産ラインへの導入改造支援も可能です。

設置スペースが狭いなど光学系配置に関してのご相談にも対応可能です。

特徴

①CV　ScanType：ガラス基板上に於いて300mm/sec、30μｍの検出感度を持っております。

また、440mm/secに於いて 50μmの検出感度を持っております。

固定タイプ：ガラス基板上に於いて50μｍの検出感度を持っております。

②ＣＦガラス基板の種類は問いません。

③ガラス基板表面又は裏面の異物検査も可能です。

④各種レシピを用意してあり、条件設定機能により操作も簡単に行えます。

⑤データ整理機能を内蔵し、必要に応じた形式で出力が可能です。

⑥AreaType　CVScanType　両方共に検査光源波長選択Typeの検査装置となっております

お客様の製造サンプルに合わせ検査光源波長の自動切り替えにより裏面や検査サンプルのノイズ

検査ステージ上の傷等々の影響を気にすることなく検査をする事が可能です。

検査不感帯領域が略無いため歩留まり向上マスク破損リスクを低減し生産能力向上にお役に立てます。

用途

露光前の異物検査　コンベア上ガラス基板の表面及び裏面の異物検査　ステージ上ガラス基板の表面異物検査

液晶装置用裏面微小異物検査装置

裏面微小異物検査装置仕様

１．測定原理	散乱光方式
２．検出対象	ステージ上ＣＦ基板表面異物 / コンベア上ＣＦ基板表面異物 / コンベア上ＣＦ基板裏面異物
３．検出器	ラインセンサー / エリアセンサー
４．光源	660nm レーザ / 520nm レーザ / 630nm ＬＥＤ / 545nm LED
５．検出異物サイズ	ラインセンサー 30μm以上 / ラインセンサー 50μm以上
６．測定基板サイズ	G3.5～G10.5
７．検査時間	CVスキャンタイプ異物検査G8サイズに於いてCV搬送速度に準ずる / 固定タイプ異物検査G8サイズに於いて10秒以下